The objective of this research is to investigate the electromagnetic shielding characteristic and the transparency of Fe-Ni-Mo alloy nanopowders (MPP) (below 100 nm). Fe-Ni alloy powder was synthesized by RF plasma system. Sheath gas , central gas and other gases related plasma environment are supplied with optimized conditions. Synthesized powders collected on different positions were analyzed by x-ray diffraction(XRD), transmission electron microscopy (TEM), vibrating sample magnetometer (VSM), particle size analyzer. The X-ray diffraction patterns for Fe-Ni-Mo Alloy nanopowder showed a typical Fe-Ni alloy phase and structures. Particle size analyzer and TEM showed an avergage 90 ~ 100 nm size of nanoparticle and spheroidization. Magnetic hysteresis (M-H) curve showed magnetic properties between precursor and synthesized nanopowder. There is no difference between the two. As a result, synthesized Fe-Ni-Mo nanopowders (MPP) has transparency without loosing electromagnetic shielding characteristic

Keywords: Fe-Ni alloy powder (MPP), Transparency, Electromagnetic shielding, RF induction plasma

고주파 부품 및 유해 전자파 차폐소재로 응용되는 대표적 연자성 재료인 Fe-Ni 합금 분말인 퍼멀로이 분말을 나노화하게 되면 소재의 광투과율에 영향을 끼치지 않게 되어 전자파 차폐와 투명성을 동시에 요구하는 더 많은 전자기기 및 산업분야에 응용될 수 있다. 그러나 합금형태의 분말은 나노화가 어렵다. 따라서 본 연구에서는 합금계 분말의 나노화에 적합하도록 제작된 RF-플라즈마 연소법을 사용하여 유해 전자파 차폐 소재로 응용되고 있는 마이크로 크기의 Fe-Ni-Mo 합금 분말을 평균 100 nm 이하로 나노 분말화하고, 제조된 나노 분말과 마이크로 분말을 비교 분석하여 전자파 차폐 특성과 투명성을 동시에 만족할 수 있는지 확인해 보고자 한다. 제조된 Fe-Ni 합금 나노 분말 (MPP)의 자기적 특성을 진동시료형 자력기를 통해 비교, 평가하였고 X-선 회절을 통해 나노 분말 상 및 구조를 평가하였다. 또한 입도 분석기와 투과전자 현미경을 통해 제조된 나노 분말의 크기와 형태를 비교 분석하였다.

Keywords: Fe-Ni 합금분말 (MPP), 투명성, 전자파차폐, RF 플라즈마 연소법