We observed the surface morphology during epitaxial growth by glancing angle deposition with substrate rotation. Kinetic Monte Carlo simulations incorporating molecular dynamics simulations were used to consider dynamic effects, such as steering and screening effects. In the case of deposition with substrate rotation, we observed an increase in surface roughness and a steeper slope of the mound compared to growth at a fixed azimuthal angle. The periodic oscillation of the mound slope observed in deposition with substrate rotation originated from the azimuthal-angle dependence of the mound slope. We found that the growth morphology was mainly caused by the inhomogeneous deposition flux, induced by steering effects, on the top terrace and on the front facet of mound.

Keywords: Steering effect, Thin film growth, KMC simulation

기판을 회전시키며 심하게 기울어진 각도로 증착시켰을 때의 표면 지형도를 스크리닝 효과와 스티어링 효과를 모두 고려한 kinetic Monte Carlo 시뮬레이션으로 보았다. 회전 증착의 경우, 고정된 방위각에서의 증착에 비해 거칠기가 증가하며, 형성되는 언덕의 기울기도 가파라지는 것을 보았다. 회전 증착에서 보이는 기울기가 주기적으로 변하는 기울기의 진동을 볼 수 있었고, 이 것은 방위각에 따른 기울기 변화를 반영한 것이다. 이러한 표면 지형의 차이는 steering 효과에 의한 최상층-테라스나 언덕의 경사면의 비대칭적인 초기 증착 밀도에 기인하는 것을 확인하였다.

Keywords: 스티어링 효과, 박막 성장, KMC 시뮬레이션