We prepared miniaturized microwave filters by using a metamaterial with conductor patterns with spiral shapes. Aluminum-oxide (Al$_2$O$_3$) substrates with a dielectric constant about 9.8 were used. After silk screen-printing with silver paste on the substrate, the spiral structures were patterned by using a laser patterning technique. The results for the fabricated filters were compared with the simulation data obtained using HFSS (high-frequency structural simulator). Finally, we fabricated filters that had smaller sizes and higher frequencies compared the usual CSRR (complementary split-ring resonator) filters. The areas of the fabricated microwave filters were about tens of mm$^2$. 

Keywords: Metamaterial, Microwave filter, Microstrip line, Spiral resonator

메타물질을 이용하여 나선모양의 전도체 패턴을 이용한 소형화된 마이크로파 필터를 설계 및 제작하였다. 기판은 유전율 9.8의 산화알루미늄(Al$_2$O$_3$)을 사용하였고, 실크스크린 방법을 이용하여 기판 위에 실버 후막을 코팅한 후, 레이저 패터닝을 통하여 나선 모양의 필터 패턴을 구현하였다. 제작된 필터의 s-parameter 측정 결과는 HFSS를 이용한 simulation data와 비교하였다. 마지막으로, 제작된 나선모양 필터의 크기가 감소할수록 공진주파수가 증가하는 것을 확인하였고, 나선의 회전수가 감소할수록 공진주파수가 증가하는 것을 확인하였다. 제작된 마이크로파 필터는 패턴의 크기가 수 십 mm$^2$에 해당하는 작은 면적의 필터 소자를 제작할 수 있었다.

Keywords: 메타물질, 마이크로파 필터, 마이크로스트립 선로, 나선형 공진기