A feedthrough with an optical fiber was presented to measure the cathodoluminescence from a sample in a scanning electron microscopes vacuum chamber. The optical system(lenses and the optical fiber) was made of fused silica to enable cathodoluminescence ultraviolet-visible-infrared(190 nm to 1250 nm) spectral measurements. The fabricated feedthrough confirmed the peaks of an energy band transition at 350 nm for GaN and 260 nm for AlGaN. Also, the absorption current and the cathodoluminescence intensity in the measured sample increased linearly with the acceleration voltage of the electron beam.

Keywords: Feedthrough, Cathodoluminescence, Luminescence, Spectrometer, SEM

주사전자현미경 진공 챔버 내의 시료로 부터 음극선루미네선스를 측정하기 위해 광섬유를 적용하여 피드스루(feedthrough)를 제시하였다. 음극선루미네선스의 원자외선-가시광선-적외선(190 nm ~ 1250 nm) 스펙트럼 측정이 가능하도록 석영유리 재질의 렌즈와 광섬유 광학계를 구성하였다. 제작된 피드스루로 GaN의 350 nm, AlGaN의 260 nm에 대해 각 에너지 밴드 전이 피크를 확인하였다. 그리고 측정 시료 내의 흡수 전류와 음극선루미네선스의 세기는 전자빔의 가속 전압에 따라 선형적으로 증가하였다.

Keywords: 피드스루, 음극선루미네선스, 루미네선스, 스펙트로메타, 주사전자현미경